技術資源
高壓電源在靜電卡盤介質損耗實時監測中的關鍵技術
在半導體制造工藝中，靜電卡盤（ESC）通過高壓電場吸附晶圓，其高壓電源的穩定性直接影響工藝精度。而介質損耗（tanδ）作為評估絕緣
超導磁儲能在電鏡高壓電源穩壓中的應用價值
電鏡（電子顯微鏡）的高壓電源系統對電壓穩定性和紋波系數有著近乎苛刻的要求。傳統線性電源或開關電源雖能滿足基礎需求，但在應對微秒級電
高壓電源在蝕刻設備中等離子體共振抑制的應用性研究
等離子體共振是半導體蝕刻工藝中的常見問題，其本質是射頻能量與等離子體負載的阻抗失配引發的駐波效應。這種失配會導致反射功率劇增、等離
準分子激光高壓電源放電均勻性提升的關鍵技術路徑
準分子激光器（如ArF、KrF）作為深紫外波段的高功率脈沖光源，在光刻、微加工及醫療領域具有不可替代的地位。其性能核心取決于高壓電源放電
電子束高壓電源寬幅調節技術的應用突破
電子束加工技術（焊接、熔覆、3D打印等）的核心在于電子束能量密度的精確控制，而高壓電源的寬幅調節能力是實現這一目標的關鍵。隨著高頻逆
高壓電源在曝光機中的數字化改造與應用演進
摘要隨著半導體制造向納米級精度邁進，曝光機高壓電源的數字化改造成為提升光刻質量的核心環節。傳統高壓電源在穩定性、控制精度與系統兼容
電子束高壓電源故障診斷系統的關鍵技術與發展
電子束高壓電源是電子束熔煉、鍍膜、焊接等工業裝備的核心部件，其穩定性直接影響工藝質量和設備壽命。隨著高壓電源向高頻化、大功率方向發
高壓電源壽命延長技術在曝光機中的應用研究
曝光機作為半導體制造、PCB光刻等領域的核心設備，其高壓電源的可靠性直接影響生產效率和成本。傳統高壓汞燈電源因壽命短（通常僅800&ndash
電子束高壓電源智能控制策略：精密焊接的核心引擎
電子束焊接技術憑借其能量密度高、熱影響區小、焊縫深寬比大等優勢，廣泛應用于航空航天、核能裝備及精密儀器制造領域。作為電子束焊機的核