技術資源
曝光機高壓電源集成化設計思路
在半導體制造領域，曝光機作為關鍵設備，其性能直接決定芯片的精度與良率，而高壓電源作為曝光機光學系統與驅動模塊的核心能量供給單元，其
光刻機高壓電源的超導儲能脈沖供電技術應用分析
在半導體制造領域，光刻機作為先進制程突破的核心設備，其曝光系統對供電的精準度、響應速度及穩定性提出了苛刻要求。尤其是7nm以下制程中
離子注入高壓電源智能故障自愈系統的應用價值與技術實踐
在半導體制造的核心工藝鏈條中，離子注入技術是實現晶圓精準摻雜的關鍵環節，而高壓電源作為該技術的能量核心，其運行穩定性直接決定摻雜濃
靜電卡盤高壓電源多物理場協同控制
在半導體3nm及以下先進制程的晶圓加工中，靜電卡盤（ESC）是實現晶圓高精度定位與穩定夾持的核心部件，其性能直接取決于高壓電源（HVPS）的
電鏡高壓電源量子隧穿效應抑制技術探析
電子顯微鏡（以下簡稱電鏡）的高分辨率成像能力，核心依賴于高壓電源輸出的穩定性與精準度。在電鏡工作過程中，高壓電源需為電子槍提供10kV
蝕刻設備高壓電源射頻直流耦合優化技術探析
在半導體制造的蝕刻工藝中，高壓電源作為等離子體生成與能量控制的核心部件，其射頻（RF）與直流（DC）信號的耦合性能直接決定蝕刻精度、速
離子注入高壓電源多脈沖動態同步技術的應用與突破
在半導體先進制程演進中，離子注入作為實現精準摻雜的核心工藝，其精度直接決定芯片電學性能與良率。高壓電源作為離子注入系統的能量中樞，
靜電卡盤高壓電源的納米級表面電位調控技術及應用
在半導體晶圓制造、微機電系統（MEMS）加工等精密制造領域，靜電卡盤憑借無機械損傷、高吸附穩定性的優勢，成為超薄、超大尺寸工件精準定位
離子注入高壓電源能量回收效率提升的技術路徑與應用價值
在半導體制造的摻雜工藝中，離子注入技術憑借其摻雜精度高、可控性強的優勢，成為先進芯片制造的核心環節之一。高壓電源作為離子注入機的能