技術資源
曝光機高壓電源動態響應優化技術研究
在微電子制造、光伏面板生產和精密顯示器件加工中，曝光機是光刻工藝的核心設備，其成像質量直接決定產品良率。高壓電源作為曝光機的關鍵子
電子束高壓電源負載適配研究
電子束加工技術（如焊接、切割、熱處理及增材制造）的核心在于高壓電源的負載適配能力。電子束設備的加工對象涵蓋金屬、半導體、陶瓷等多樣
高壓電源模塊化設計在曝光機中的應用演進
曝光機作為半導體制造的核心設備，其圖形轉移精度直接決定芯片的線寬與良率。高壓電源作為曝光機的能量心臟，需為電子束或離子束生成系統提
電子束設備高壓電源噪聲抑制技術研究
電子束設備（如電子束熔煉爐、電子束鍍膜系統等）依賴高壓電源提供穩定的加速電場，其性能直接影響材料加工精度與設備可靠性。然而，高壓電
曝光機高壓電源能效提升方案
在微電子、光伏及印刷電路板制造領域，曝光機是實現精密圖形轉移的核心設備，其高壓電源系統（通常工作于數十千伏范圍）的能效直接影響生產
電子束曝光機高壓電源穩壓技術及應用
電子束曝光機作為納米級圖形加工的核心裝備，其制版精度直接取決于高壓電源的穩定性。高壓電源為電子槍提供加速電壓（通常為20–30 k
高壓電源量子噪聲抑制技術及其在電鏡領域的應用
電子顯微鏡（電鏡）的分辨率與成像質量高度依賴高壓電源的穩定性。高壓電源為電鏡的電子槍提供加速電壓（通常達數十至數百千伏），其輸出噪
高精度蝕刻設備中高壓電源動態匹配網絡的技術演進與應用
在半導體制造領域，蝕刻設備的性能直接決定了芯片結構的精度與良率。隨著制程節點向5nm以下演進，晶圓尺寸增至12英寸，蝕刻工藝對高壓電源
準分子激光高壓電源的脈沖能量反饋控制技術
準分子激光器（如ArF、KrF、XeCl等）作為深紫外波段的高功率脈沖光源，在半導體光刻、醫療美容、微納加工等領域具有不可替代的地位。其核心