技術資源

供電設備(PFE)高壓電源的冗余備份設計

在電力系統、工業控制等關鍵領域,供電設備(PFE)的連續穩定運行直接決定整體系統可靠性,而高壓電源作為 PFE 的核心能量供給單元,其故

等離子點火高壓電源的點火成功率保障

一、技術背景與痛點等離子點火技術廣泛應用于電站鍋爐、工業窯爐等設備的點火啟動,高壓電源作為等離子發生器的能量來源,其性能直接決定點

直流脈沖高壓發生器的脈沖調控

一、脈沖調控的核心參數與需求直流脈沖高壓發生器的調控需圍繞脈沖幅度(kV 級)、脈沖寬度(ns-ms 級)、重復頻率(Hz-kHz 級)及上升

蝕刻設備高壓電源等離子體鞘層智能調節

在半導體蝕刻工藝中,等離子體鞘層(位于等離子體與工件間的電離層,厚度幾 μm - 幾十 μm)的特性直接決定蝕刻速率與均勻性。傳

準分子激光高壓電源氣體動力學優化

準分子激光憑借短波長(193nm-351nm)特性,廣泛應用于半導體光刻與精密加工領域,其輸出性能依賴高壓電源與準分子氣體(ArF、KrF 等)的

光刻機高壓電源多維度 EMI 屏蔽

光刻機作為半導體制造的核心設備,其納米級光刻精度直接決定芯片良率,而高壓電源作為光刻機的動力核心,電磁干擾(EMI)是制約其性能的關

離子注入高壓電源脈沖序列混沌控制的應用實踐

離子注入是半導體器件制造中實現雜質精準摻雜的核心工藝,其通過高壓電源加速雜質離子(如硼、磷),使離子注入晶圓形成源漏極、柵極等關鍵

靜電卡盤高壓電源智能介質損耗補償技術及應用

在半導體晶圓制造的光刻、干法刻蝕等關鍵工藝中,靜電卡盤(ESC)承擔著晶圓精準夾持與溫度控制的核心功能,而高壓電源的輸出穩定性直接影

電鏡高壓電源阿伏伽德羅常數級精度的應用探索

在納米科技與材料科學領域,透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)的分辨率與分析精度,直接依賴電子束加速系統的穩定性,而高壓電