技術資源
高壓電源助力先進封裝產線建設
先進封裝技術，如倒裝芯片（Flip Chip）、晶圓級封裝（WLP）、2 5D 3D集成中的硅通孔（TSV）工藝，對制造設備提出了新的電源需求。高壓電
晶圓檢測電源的高頻響應優化
晶圓檢測，尤其是基于電子束（E-beam）或高頻探針臺的先進缺陷檢測與電性測試，對驅動電源提出了極高要求。這里的高頻響應特指電源系統對快
高壓供電技術支撐真空系統性能
在半導體制造、薄膜沉積以及表面科學研究等諸多高精尖領域中，真空系統是實現精確工藝環境的核心基礎設施。高壓供電技術在其中扮演著不可或
晶圓制程設備的電源精度挑戰
晶圓制程設備，如光刻機、刻蝕機、CVD和離子注入機等，對供電電源的精度有著極其嚴苛的要求。隨著制程節點不斷縮小到納米級，電源的任何微
射頻系統電源模塊化發展趨勢
射頻（RF）系統電源是半導體制造設備（如刻蝕機、$PECVD$）和通信、醫療等高科技應用的核心組成部分。隨著系統集成度和功率密度的不斷提升
高壓電源賦能封裝測試自動化升級
半導體封裝測試是芯片制造的后端關鍵環節，自動化和精度是提高效率、保證質量的核心訴求。高壓電源在封裝測試設備的自動化升級中，扮演著高
等離子刻蝕設備的電源控制演進
等離子刻蝕設備是半導體制造中圖形轉移的關鍵設備，其工藝精度和均勻性完全依賴于對等離子體的精確、動態控制。電源系統，尤其是射頻（RF）
晶圓清洗機高壓電源節能設計
晶圓清洗是半導體制造中去除微粒和有機 無機殘留物的關鍵步驟，對器件良率有直接影響。清洗機中涉及的高壓電源主要應用于兆聲波換能器驅動
智能電源推動芯片產線升級
智能電源是推動現代芯片生產線向工業4 0升級的關鍵技術。這里的智能不僅僅指電源具備數字控制接口，而是指電源系統內部集成了先進的感知、