TESC7080 客戶定制高壓電源

TESC7080

泰思曼 TESC7080 系列靜電卡盤專用高壓電源,提供±5kV 精準輸出(精度±1%,紋波<100mVp-p),漏電流監控保護值 0-40mA 可設置,支持 100nF 內在位電容檢測。具備 20ms 快速過零切換能力,集成多重保護功能,支持模擬量/RS485 控制及液晶顯示。已應用于半導體離子注入和刻蝕設備中,性能穩定可靠。它的封裝設計緊湊輕便,可 OEM。

典型應用:E-Chuck;靜電卡盤;靜電吸盤;靜電吸附系統

產品資料 返回列表

產品特點

  • +24V DC 輸入
  • 雙極性輸出 20ms 極性切換
  • 平滑過零
  • 模擬量控制/485 控制
  • 100nF 內在位電容檢測

聯系我們

地址:大連市高新園區任賢街16號
電話:0411-84754522
郵箱:sales@teslamanhv.com
網址:www.fs-zh.cn
泰思曼科技公眾號二維碼

產品規格

輸入

+24VDC±5%,5A。

通道數

2 路,每路獨立可調

調節范圍

每路-5kV~+5kV 連續可調

電壓精度

額定值±1%

紋波

典型<100mVp-p(10nf 下,0~1MHz,平頂紋波)

過零特性

支持

過沖(超調/失調)

典型<2V(10nf 負載時,從-5kV 到+5kV)

輸入到輸出延時

優于 3ms

轉換(升/降)速率

典型 20ms(10nf 負載時,從-5kV 到+5kV)

循環頻率

典型 50Hz(10nf 負載時,從-5kV 到+5kV)

輸出阻抗

>20kΩ(單路)

電壓顯示

分辨率= 1V 精度優于±50V

電流顯示

分辨率=10μA 精度=實際輸出±100μA 偏移的±2%

穩定度

優于 0.01%

輸入調整率

在任何負載條件下,10%輸入電壓變化<0.1%

負載調整率

從零到滿負載<1.3%

保護

輸入過/欠壓、過流保護,輸出過壓、過流、過溫

前面板控制

液晶顯示屏,電壓調節、電流設定、一鍵 d-chuck 等

通信

通過 DB25 模擬量控制,也可選擇 RS-485 串行接口(其他接口可定制)

控制信號

0 對應-5kV,5V 對應 0kV,10V 對應+5kV(其他形式可定制)

典型負載電容

<10nF(對于其他負載電容,請聯系泰思曼)

在位電容檢測范圍

100nF 以內

溫度系數

電壓和電流優于 300ppm/℃ 滿載時<0.1%p-p,最大輸出

環境溫度

工作時

0?C 至 45?C

儲存時

-20?C 至 70?C

濕度

0 至 85%RH,非冷凝

冷卻

自然冷卻

外形尺寸

寬 241 mm ,高 88 mm ,深 411mm。