主要用于半導體、納米技術材料科學領域，除半導體集成電路領域的廣泛應用之外,電子束曝光在儀器領域的典型應用還包括:極紫外及X射線聚焦/成像/分光元件、儀器測試與校準用100nm尺度以下標準樣品及測試卡、極高工作頻率聲表波換能器、新-代光學系統平面透鏡元件、第三代納米孔DNA測序等。
